소장자료
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양성자 빔을 이용한 MEMS 소자 패키징 기술 개발=The Development of MEMS Device Packaging Technology using Proton Beam
자료유형
국내단행본
서명/책임사항
양성자 빔을 이용한 MEMS 소자 패키징 기술 개발 = The Development of MEMS Device Packaging Technology using Proton Beam / 한국원자력연구소 [편].
개인저자
발행사항
[대전] : 한국원자력연구소 양성자기반공학기술개발사업단 , 2007.
형태사항
vii, 38장 : 삽도 ; 30 cm.
일반주기
세부사업명: 양성자가속기 이용자프로그램 개발 및 운영(Management and development of the user program on proton accelerator)
연구수행기관: 단국대학교 산학협력단
연구책임자 : 현준원
연구수행기관: 단국대학교 산학협력단
연구책임자 : 현준원
서지주기
참고문헌수록
청구기호
621.48 한17ㅇCH
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