소장자료
| LDR | 00740namka2200253 k 4500 | ||
| 001 | 0000470472▲ | ||
| 005 | 20180519120506▲ | ||
| 007 | ta▲ | ||
| 008 | 020312s2001 ggka 001a kor ▲ | ||
| 040 | ▼a 221016 ▼c 221016 ▼d 221016▲ | ||
| 041 | 0 | ▼a kor▼b eng▲ | |
| 082 | 0 | ▼a 621.38152▼2 21▲ | |
| 088 | ▼a 2000-N-NE-01-C-026▲ | ||
| 090 | ▼a 621.38152 ▼b 한17ㅊE▲ | ||
| 110 | ▼a 한국. ▼b 과학기술부▲ | ||
| 245 | 1 | 0 | ▼a 초고집적 반도체 디바이스 제조를 위한 모델링 S/W 개발=▼x Development of modeling software for integrated semiconductor device fabrication/▼d [과학기술부 편]▲ |
| 260 | ▼a [과천]:▼b 과학기술부,▼c 2001.▲ | ||
| 300 | ▼a 82 p.:▼b 삽도;▼c 30 cm.▲ | ||
| 500 | ▼a 주관연구기관 : 인하대학교▲ | ||
| 500 | ▼a 주관연구책임자 ; 원태영▲ | ||
| 504 | ▼a 참고문헌 : p.80-82▲ | ||
| 700 | 1 | ▼a 원태영▲ | |
| 710 | ▼a 인하대학교▲ | ||
| 999 | ▼a 이정희▼b 이정희▲ |
초고집적 반도체 디바이스 제조를 위한 모델링 S/W 개발= Development of modeling software for integrated semiconductor device fabrication
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