소장자료
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| 500 | ▼a지도교수: 권세훈▲ | ||
| 502 | 0 | ▼a학위논문(석사)--▼b부산대학교 대학원 :▼c재료공학과,▼d2019. 8.▲ | |
| 504 | ▼a참고문헌: 장 60-64▲ | ||
| 520 | 3 | ▼a국문요약 및 Abstract 수록▲ | |
| 538 | ▼aRequires PDF file reader(application/pdf)▲ | ||
| 653 | ▼a반도체 공정 기술▼a반도체 소자▼a플라즈마 식각공정▲ | ||
| 856 | 4 | ▼adcollection.pusan.ac.kr▼uhttp://dcollection.pusan.ac.kr/common/orgView/000000141232▲ | |
| 900 | 1 | 1 | ▼aSong, Eun Jin▲ |
| 940 | ▼a이-스텝 플라즈마공정을 이용한 실리콘 원자층 식각에 관한 연구▲ | ||
| 940 | ▼a투-스텝 플라즈마공정을 이용한 실리콘 원자층 식각에 관한 연구▲ |
2-step 플라즈마공정을 이용한 실리콘 원자층 식각에 관한 연구
자료유형
학위논문
서명/책임사항
2-step 플라즈마공정을 이용한 실리콘 원자층 식각에 관한 연구 = Silicon atomic layer etching by two-step plasma process consisting of oxidation and modification to form (NH4)2SiF6, and its sublimation / 송은진
개인저자
발행사항
부산 : 부산대학교 대학원 , 2019
형태사항
viii, 66 장 : 삽화 ; 30 cm
일반주기
지도교수: 권세훈
학위논문주기
학위논문(석사)-- 부산대학교 대학원 : 재료공학과 , 2019. 8.
서지주기
참고문헌: 장 60-64
요약주기
국문요약 및 Abstract 수록
시스템사항
Requires PDF file reader(application/pdf)
청구기호
620.11 송68ㅇ
원문 등 관련정보
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