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Microlithography : science and technology

저자 : Suzuki, Kazuaki

출판사 : Boca Raton: CRC Press, c2007.

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Polymers in microlithography : materials and processes

저자 : Reichmanis, Elsa

출판사 : Washington, DC : American Chemical Society , 1989.

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Handbook of VLSI Microlithography

저자 : Glenadinning, W.B

출판사 : New Jersey: Noyes, 1991

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국외단행본

Materials and processes for next generation lithography

저자 : Robinson, Alex

출판사 : Amsterdam : Elsevier, 2016.

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국외단행본

Fundamental principles of optical lithography :the science of microfabrication

저자 : Mack, Chris A

출판사 : Chichester, West Sussex, England

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국외단행본

Nanoimprint lithography :an enabling process for nanofabrication

저자 : Zhou, Weimin

출판사 : Heidelberg

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국외단행본

Nanolithography and patterning techniques in microelectronics

저자 : Bucknall, David G

출판사 : Cambridge : Woodhead Publishing

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국외단행본

Nanoimprint lithography :principles, processes and materials

저자 : Lan, Hongbo

출판사 : New York : Nova Science Publishers, Inc., c2011.

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국외단행본

Lithography process control

저자 : Levinson, Harry J

출판사 : Bellingham, Wash.: SPIE Optical Engineering Press, c1999.

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국외단행본

Principles of lithography

저자 : Levinson, Harry J

출판사 : Bellingham, WA: SPIE Press, c2004.

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