소장자료
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Parallelized PIC-MCC Simulation for an Intermediate-pressure Capacitively Coupled Plasma for Deposition Processes =증착 공정을 위한 중간 압력 용량결합형 플라즈마 장비에 대한 병렬화된 PIC-MCC 시뮬레이션
자료유형
학위논문
서명/책임사항
Parallelized PIC-MCC Simulation for an Intermediate-pressure Capacitively Coupled Plasma for Deposition Processes = 증착 공정을 위한 중간 압력 용량결합형 플라즈마 장비에 대한 병렬화된 PIC-MCC 시뮬레이션 / Jin Seok Kim
개인저자
발행사항
부산 : 부산대학교 대학원 , 2018
형태사항
vi, 76 장 : 삽화, 표 ; 30 cm
일반주기
지도교수: 이해준
학위논문주기
학위논문(박사)-- 부산대학교 대학원 : 전기전자컴퓨터공학과 , 2018. 2.
서지주기
참고문헌: 장 72-76
요약주기
국문초록 및 Abstract 수록
시스템사항
Requires PDF file reader(application/pdf)
청구기호
621.044 김79ㅍ
원문 등 관련정보
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