소장자료
| LDR | 02152nam a2200457 a 4500 | ||
| 001 | 0092945549▲ | ||
| 005 | 20180519220748▲ | ||
| 008 | 150309s2011 ja a 001 0 jpn d▲ | ||
| 020 | ▼a9784621084144▲ | ||
| 040 | ▼a221016▲ | ||
| 082 | 0 | 4 | ▼a621.38152▼223▲ |
| 090 | ▼a621.38152▼b길73ㅂ▲ | ||
| 100 | 1 | ▼a길전, 정사 ▲ | |
| 245 | 1 | 0 | ▼a薄膜工學 /▼c吉田 貞史, 近藤 高志 [共]編著 ; 金原 粲 監修.▲ |
| 250 | ▼a第2版▲ | ||
| 260 | ▼a東京 :▼b丸善出版,▼c2011▲ | ||
| 300 | ▼a319 p. :▼b揷畵 ;▼c22 cm.▲ | ||
| 500 | ▼a日本学術振興会薄膜第131委員会 編集企画▲ | ||
| 504 | ▼a文献あり.▲ | ||
| 520 | ▼a薄膜技術は、非常に基礎的な技術でありながら関係する応用分野が広く、最先端エレクトロニクスに不可欠な基盤技術でもある。本書は、その基本事項を解説するとともに、最近の著しい技術発展を踏まえて改訂を行い、微細加工技術を用いた２次元、３次元微細構造の導入や基板の大型化·高速化を可能にした装置技術、新しい薄膜作製手法、原子·分子スケールでの測定技術なども取り上げて解説する。本書は、薄膜分野の研究や技術開発に携わる人々の入門書として、また、薄膜の基礎技術の解説書として、格好の書である.▲ | ||
| 650 | 7 | ▼a薄膜▼2bsh▲ | |
| 650 | 7 | ▼a薄膜▼2ndlsh▲ | |
| 700 | 1 | ▼a근등, 고지▲ | |
| 700 | 1 | ▼a금원, 찬,▼d1933- ▲ | |
| 710 | 2 | ▼a일본학술진흥회▲ | |
| 900 | 1 | ▼a김원, 찬, ▼d1933- ▲ | |
| 900 | 1 | ▼aヨシダ, サダフミ▲ | |
| 900 | 1 | ▼aYoshida, Sadafumi▲ | |
| 900 | 1 | ▼a요시다, 사다후미▲ | |
| 900 | 1 | ▼aコンドウ, タカシ▲ | |
| 900 | 1 | ▼a콘도우, 타카시▲ | |
| 900 | 1 | ▼aKondō, Takashi▲ | |
| 900 | 1 | ▼aキンバラ, アキラ, ▼d1933- ▲ | |
| 900 | 1 | ▼a킨바라, 아키라, ▼d1933- ▲ | |
| 900 | 1 | ▼aKinbara, Akira, ▼d1933- ▲ | |
| 910 | 2 | ▼aニホン ガクジュツ シンコウカイ▲ | |
| 910 | 2 | ▼a니혼 가쿠쥬쓰 신코우카이▲ | |
| 910 | 2 | ▼aNihon gakujutsu shinkōkai▲ | |
| 940 | 0 | ▼aハクマク コウガク▲ | |
| 940 | 0 | ▼aHakumaku kōgaku▲ | |
| 999 | ▼a김진영▼c윤현희▲ |
薄膜工學
자료유형
국외단행본
서명/책임사항
薄膜工學 / 吉田 貞史, 近藤 高志 [共]編著 ; 金原 粲 監修.
단체저자
판사항
第2版
발행사항
東京 : 丸善出版 , 2011
형태사항
319 p. : 揷畵 ; 22 cm.
일반주기
日本学術振興会薄膜第131委員会 編集企画
서지주기
文献あり.
요약주기
薄膜技術は、非常に基礎的な技術でありながら関係する応用分野が広く、最先端エレクトロニクスに不可欠な基盤技術でもある。本書は、その基本事項を解説するとともに、最近の著しい技術発展を踏まえて改訂を行い、微細加工技術を用いた２次元、３次元微細構造の導入や基板の大型化·高速化を可能にした装置技術、新しい薄膜作製手法、原子·分子スケールでの測定技術なども取り上げて解説する。本書は、薄膜分野の研究や技術開発に携わる人々の入門書として、また、薄膜の基礎技術の解説書として、格好の書である.
ISBN
9784621084144
청구기호
621.38152 길73ㅂ
소장정보
예도서예약
서서가에없는책 신고
보보존서고신청
캠캠퍼스대출
우우선정리신청
배자료배달신청
문문자발송
출청구기호출력
학소장학술지 원문서비스
| 등록번호 | 청구기호 | 소장처 | 도서상태 | 반납예정일 | 서비스 |
|---|
북토크
자유롭게 책을 읽고
느낀점을 적어주세요
글쓰기
느낀점을 적어주세요
청구기호 브라우징
관련 인기대출 도서