소장자료
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| 856 | 4 | ▼adcollection.pusan.ac.kr▼uhttp://dcollection.pusan.ac.kr/jsp/common/DcLoOrgPer.jsp?sItemId=000000086474▲ | |
| 940 | ▼a피이에이엘디의 하이브리드 공정법을 이용한 제트엔오 박막의 비정질 실리콘 박막 태양전지 적용에 대한 연구▲ | ||
| 940 | ▼a플라즈마 원자층 증착법의 하이브리드 공정법을 이용한 ZnO 박막의 비정질 실리콘 박막 태양전지 적용에 대한 연구▲ | ||
| 999 | ▼c김보라▲ |
PEALD의 하이브리드 공정법을 이용한 ZnO 박막의 비정질 실리콘 박막 태양전지 적용에 대한 연구 =ZnO Thin Films using Hybrid Plasma Step of PEALD for the Application of a-Si Thin Film Solar Cells
자료유형
학위논문
서명/책임사항
PEALD의 하이브리드 공정법을 이용한 ZnO 박막의 비정질 실리콘 박막 태양전지 적용에 대한 연구 = ZnO Thin Films using Hybrid Plasma Step of PEALD for the Application of a-Si Thin Film Solar Cells / 이영주
개인저자
발행사항
부산 : 부산대학교 , 2013
형태사항
78 장 : 삽화, 표 ; 26 cm
학위논문주기
학위논문(석사)-- 부산대학교 대학원 : 하이브리드소재솔루션협동과정 , 2013. 2.
서지주기
참고문헌 : 장 73-76
요약주기
Abstract : 장 77-78
시스템사항
Requires PDF file reader(application/pdf)
키워드
PEALD, 플라즈마원자층증착법, 박막증착기술, 태양광에너지, 신재생에너지, 태양전지, 실리콘 박막 태양전지, 비정질 실리콘 박막 태양전지, ZnO, FTO, 전면전극, 수소 플라즈마
청구기호
621.31244 이64ㅍ
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