소장자료
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| 999 | ▼a 최덕수▼b김은주▲ |
화학반응속도가 Cu CMP에 미치는 영향=(The) Effects of chemical reaction kinetics on Cu CNP
자료유형
학위논문
서명/책임사항
화학반응속도가 Cu CMP에 미치는 영향 = (The) Effects of chemical reaction kinetics on Cu CNP / 정원덕.
개인저자
발행사항
부산 : 부산대학교 , 2007.
형태사항
67장 : 삽도 ; 26 cm.
학위논문주기
학위논문(석사)-- 부산대학교 대학원 : 정밀기계공학과 , 2007년 2월
서지주기
참고문헌 : 장61-63
시스템사항
Requires PDF file reader(application/pdf)
청구기호
621.9 정67ㅎ
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