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Journal of micro/nanolithography, MEMS, and MOEMS :JM3
자료유형
외국학술지지원센터자료(FRIC)
서명/책임사항
Journal of micro/nanolithography, MEMS, and MOEMS : JM3.
다양한 서명
Journal of micro/nanolithography, microelectromechanical systems and micro-opto-electro-mechanical systems
JM3
JM3
발행사항
Bellingham, Wash. : SPIE , 2007-
형태사항
v. : ill. (some col.), ports. ; 28 cm.
간행빈도
Quarterly
권년차사항
Vol. 6, no. 1 (Jan./Mar. 2007)-
주제
청구기호
621.3815 J86s
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