소장자료
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직접패턴형 강유전박막 형성을 위한 e-beam 리소그래피용 전구체 개발= Development of e-beam lithographic precursors for direct-patternable ferroelectric thin films
자료유형
국내단행본
서명/책임사항
직접패턴형 강유전박막 형성을 위한 e-beam 리소그래피용 전구체 개발 = Development of e-beam lithographic precursors for direct-patternable ferroelectric thin films / 과학기술부 [편].
기타서명
최종연구보고서
개인저자
발행사항
[과천] : 과학기술부 , 2005.
형태사항
x, 26장 : 삽도 ; 30 cm.
일반주기
연구기관: 연세대학교 산학협력단
연구책임자 : 박형호
연구책임자 : 박형호
서지주기
참고문헌: 26장
요약주기
요약문, Summary 수록
청구기호
621.38152 한17ㅈO
소장정보
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