소장자료
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몬테카를로법을 이용한 에칭특성의 시뮬레이션을 위한 연구=(A) Study on simulation of etching characteristics using monte-carlo method
자료유형
학위논문
서명/책임사항
몬테카를로법을 이용한 에칭특성의 시뮬레이션을 위한 연구 = (A) Study on simulation of etching characteristics using monte-carlo method / 鄭興鐵.
발행사항
부산 : 釜山大學校 , 2005.
형태사항
iv, 72 장 :; : 삽도 ; 26 cm.
학위논문주기
학위논문(석사)-- 釜山大學校 大學院 : 機械工學科 , 2005年 2月
서지주기
참고문헌 : 67-69 장
요약주기
Abstract : 70-72 장
청구기호
621.2 정98ㅁ
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