소장자료
| LDR | 00665namka2200217 k 4500 | ||
| 001 | 0000454061▲ | ||
| 005 | 20180520034602▲ | ||
| 007 | ta▲ | ||
| 008 | 000809s2000 ulka m AX 000 kor ▲ | ||
| 040 | ▼a 221016 ▼c 221016 ▼d 221016▲ | ||
| 041 | 0 | ▼a kor▼b eng▲ | |
| 082 | 0 | ▼a 535.324▼2 21▲ | |
| 090 | ▼a 535.324▼b 변53ㄱ▲ | ||
| 100 | 1 | ▼a 변성환▲ | |
| 245 | 1 | 0 | ▼a 감광제 고유의 ABC 노광변수를 추출하는 시뮬레이터 개발=▼x Development of photoresist exposure parameter extraction simulator/▼d 卞盛煥▲ |
| 260 | ▼a 서울:▼b 漢陽大學校,▼c 2000.▲ | ||
| 300 | ▼a 52장:▼b 삽도;▼c 26cm.▲ | ||
| 502 | 0 | ▼a 학위논문(석사)--▼b 한양대학교 대학원:▼c 물리학과,▼d 2000년2월▲ | |
| 653 | ▼a 감광제▼a 고유▼a ABC▼a 노광변수▼a 시뮬레이터▲ | ||
| 700 | 1 | ▼a Byun, Sung Hwan▲ | |
| 999 | 0 | 0 | ▼a 도양희 ▼b 도양희▲ |
감광제 고유의 ABC 노광변수를 추출하는 시뮬레이터 개발= Development of photoresist exposure parameter extraction simulator
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