소장자료
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| 245 | 1 | 0 | ▼a원자층 증착법을 이용한 이트륨 산화물 박막 증착 및 CF4 플라즈마에서의 식각 특성에 관한 연구 =▼xAtomic Layer Deposition of Yttrium Oxide Thin Films and It’s Etching Behavior in CF4 Plasma /▼d이성▲ |
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| 502 | 0 | ▼a학위논문(석사)--▼b부산대학교 대학원 :▼c재료공학과,▼d2025. 2.▲ | |
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| 538 | ▼aRequires PDF file reader(application/pdf)▲ | ||
| 653 | ▼a원자층▼a증착법▼a이트륨 산화물▼a박막증착▼aCF4▼a플라즈마▲ | ||
| 856 | 4 | ▼adcollection.pusan.ac.kr▼uhttps://dcollection.pusan.ac.kr/common/orgView/000000167318▲ | |
| 900 | 1 | 1 | ▼aLee, Seong▲ |
| 940 | 0 | ▼a원자층 증착법을 이용한 이트륨 산화물 박막 증착 및 시에프포 플라즈마에서의 식각 특성에 관한 연구▲ |
원자층 증착법을 이용한 이트륨 산화물 박막 증착 및 CF4 플라즈마에서의 식각 특성에 관한 연구
자료유형
학위논문
서명/책임사항
원자층 증착법을 이용한 이트륨 산화물 박막 증착 및 CF4 플라즈마에서의 식각 특성에 관한 연구 = Atomic Layer Deposition of Yttrium Oxide Thin Films and It’s Etching Behavior in CF4 Plasma / 이성
개인저자
발행사항
부산 : 부산대학교 대학원 , 2025
형태사항
v, 52 장 : 삽화, 도표 ; 30 cm
일반주기
지도교수: 권세훈
학위논문주기
학위논문(석사)-- 부산대학교 대학원 : 재료공학과 , 2025. 2.
서지주기
참고문헌: 장 46-51
요약주기
국문요약 및 Abstract 수록
시스템사항
Requires PDF file reader(application/pdf)
청구기호
620.11 이53ㅇ
원문 등 관련정보
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