소장자료
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Study on the Characteristics of Hybrid Plasma Source Combined with Microwave and Inductively Coupled Plasma
자료유형
학위논문
서명/책임사항
Study on the Characteristics of Hybrid Plasma Source Combined with Microwave and Inductively Coupled Plasma = 마이크로파와 유도 결합 플라즈마를 결합한 하이브리드 플라즈마 소스의 특성 연구 / Kang, Dong Jin 저
발행사항
부산 : 부산대학교 대학원 , 2025
형태사항
43p. 30cm
일반주기
마이크로파와 유도 결합 플라즈마를 결합한 하이브리드 플라즈마 소스의 특성 연구
지도교수:이호준
지도교수:이호준
학위논문주기
학위논문(석사)-- 부산대학교 대학원 전기전자공학과 , 2025. 2.
서지주기
참고문헌 : p.
시스템사항
Requires PDF file reader(application/pdf)
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