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이희석
부산: 부산대학교, 2002.
나노생명과학도서관
대출불가


실리콘 기판의 화학기계적 미세가공 기술에 관한 연구= A Study on the chemical mechanical micromachining of silicon substrate
박준민
부산: 부산대학교, 2004.
나노생명과학도서관
대출불가

김성헌
부산: 부산대학교, 2001.
나노생명과학도서관
대출불가
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