학술논문 – 법학도서관

학술논문

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ㅏ	あ a	ぁ	か ka	が ga	さ sa	ざ za	た ta	だ da		な na	は ha	ば ba	ぱ pa	ま ma	や ya	ゃ lya	ら ra	わ wa	ゎ lwa	ん n
l	い i	ぃ	き ki	ぎ gi	し si	じ zi	ち ti	ぢ di		に ni	ひ hi	び bi	ぴ pi	み mi			り ri
ㅜ	う u	ぅ	く ku	ぐ gu	す su	ず zu	つ tu	づ du	っ	ぬ nu	ふ hu	ぶ bu	ぷ pu	む mu	ゆ yu	ゅ lyu	る ru
ㅔ	え e	ぇ	け ke	げ ge	せ se	ぜ ze	て te	で de		ね ne	へ he	べ be	ぺ pe	め me			れ re
ㅗ	お o	ぉ	こ ko	ご go	そ so	ぞ zo	と to	ど do		の no	ほ ho	ぼ bo	ぽ po	も mo	よ yo	ょ lyo	ろ ro	を wo

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ㅏ	ア a	ァ	カ ka	ガ ga	サ sa	ザ za	タ ta	ダ da		ナ na	ハ ha	バ ba	パ pa	マ ma	ヤ ya	ャ lya	ラ ra	ワ wa	ヮ lwa		ン n
l	イ i	ィ	キ ki	ギ gi	シ si	ジ zi	チ ti	ヂ di		ニ ni	ヒ hi	ビ bi	ピ pi	ミ mi			リ ri
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ㅗ	オ o	ォ	コ ko	ゴ go	ソ so	ゾ zo	ト to	ド do		ノ no	ホ ho	ボ bo	ポ po	モ mo	ヨ yo	ョ lyo	ロ ro	ヲ wo		ーー

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발행년	- (예 : 2010-2015)

'학술논문' 에서 검색결과 3건 | 목록 1~10

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Characterization of quartz etched depth and optical density of opaque pattern for the wafer CD behavior on advanced mask

Periodical

Rankin, Jed H.; Preil, Moshe E.; Chou, William; Cheng, Jeffrey; Twu, C. H.; Lee, Adder; Chao, Chih Hsuan; Yu, Xin Ren; Chen, Po Tsang; Huang, Edgar; Lin, Junjin; Chen, Sweet; Cheng, James; Lu, Colbert; Tzeng, Josh; Cheng, Jackie; Lee, Heng Jen; Ham, Young

Proceedings of SPIE; September 2019, Vol. 11148 Issue: 1 p111481I-111481I-9, 1003339p

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Hotspot analysis and empirical correction through mask and wafer technology harmonization

Periodical

Gallagher, Emily E.; Rankin, Jed H.; Choi, Yohan; Chou, William; Cheng, Jeffrey; Twu, C. H.; Lee, Adder; Chao, Chih Hsuan; Chou, Hsin Fu; Chen, Sweet; Cheng, James; Lu, Colbert; Tzeng, Josh; Cheng, Jackie; Lee, Hong Jen; Green, Michael; Ramadan, Mohamed; Ham, Young; Progler, Chris

Proceedings of SPIE; October 2018, Vol. 10810 Issue: 1 p108101K-108101K-11, 10702011p

Find it@PNU

Stabilize OMOG photomask post-repair CD variation by cleaning strategy and post-repair treatment

Periodical

Takehisa, Kiwamu; Shen, Vincent; Tzeng, Josh; Huang, Kuang; Chang, Vic

Proceedings of SPIE; July 2017, Vol. 10454 Issue: 1 p104540U-104540U-6, 940867p

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