학술논문
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Periodical
Yu, Zhonghai; Mattson, M. A.; Myers, T. H.; Harris, K. A.; Yanka, R. W.; Mohnkern, L. M.; Lew Yan Voon, L. C.; Ram-Mohan, L. R.; Benz, R. G.; Wagner, B. K.; SummersBenz, C. J.
Journal of Electronic Materials; May 1995, Vol. 24 Issue: 5 p685-690, 6p
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[AR] SummersBenz, C. J.
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