소장자료
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CMP slurry 제조기술= Technology valuation of CMP slurry production
자료유형
국내단행본
서명/책임사항
CMP slurry 제조기술 = Technology valuation of CMP slurry production / 서진이 ; 이방래 ; 이용호 공저
발행사항
서울 : 한국과학기술정보연구원 , 2003.
형태사항
51 p. : 삽도 ; 23 cm.
총서사항
청구기호
621.3815 서79ㅅ
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