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Piezoelectric MEMS microphones based on rib structures and single crystal PZT thin film
Document Type
Article
Author
You, Z.; Gan, J.; Yang, C.; Tuerhong, R.; Zhao, L.; Lu, Y.
Source
In: Microsystems and Nanoengineering. (Microsystems and Nanoengineering, December 2024, 10(1))
Subject
Language
English
ISSN
20557434

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