학술논문
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Academic Journal
The effect of microrelief evolution on the angular dependence of polycrystalline Cu sputtering yield
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Borisov, AM; Efremov, AP; Kuleshov, EA; Krit, BL; Lyudin, VB; Mikheev, VI; Polovtsev, VA; Svetlakov, VM; Suminov, IV; Epelfeld, AV
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Suminov, IV; Apelfeld, AV; Borisov, AM; Lyudin, VB; Romanovsky, EA; Bespalova, OV; Kulikauskas, VS; Dun'kin, ON; Semenov, SV
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[AR] Borisov, AM
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