학술논문 – 부산대학교 도서관

학술논문

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スパッタリングを用いたベーマイト上のＳＥＲＳ構造の形成

Document Type

Journal Article

Author

三枝峻也; 内海裕一; 山口明啓; 田中拓; 福岡隆夫; 納谷昌之; 赤松直哉

Source

Proceedings of Microelectronics Symposium. 2021, :21-2

Subject

Language

Japanese

ISSN

2434-396X

Online Access

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