학술논문
17.1 nm极紫外滤光片的制备 / Preparation of EUV Filter at 17. 1 nm
Document Type
Academic Journal
Author
Source
光学精密工程 / Optics and Precision Engineering. 31(2):141-149
Subject
Language
Chinese
ISSN
1004-924X
Abstract
为了预警空间天气,需对日地空间物理过程进行监测,极紫外(Extreme Ultraviolet,EUV)滤光片是极紫外成像仪其中的重要组成部分,用来去除太阳辐射光谱中的非工作波段的辐射.为了优化EUV滤光片在17.1 nm波长处的透过率,本文基于比尔-朗伯定律通过理论计算和软件模拟确定17.1 nm EUV滤光片的材料及厚度.首先,采用真空热蒸发的方式在熔石英基底沉积脱膜层和金属薄膜,成功制备了以镍网为支撑的EUV滤光片.经测试,滤光片在17.1 nm处的透过率约为43.81％,表面光滑平整且无明显针孔.接下来为了说明氧化层对透过率的影响,使用椭圆偏振光谱仪测量滤光膜样品,得到放置不同时间的氧化层膜厚,并测得粗糙度来优化模拟滤光片透过率.利用IMD拟合样品氧化层厚度及粗糙度,调整层厚达到与实际测量值最为接近的曲线.实验结果表明滤光片透过率的模拟值与测量值绝对误差约1％,符合良好.本文为17.1 nm EUV滤光片提供了制备方法以及优化思路,在空间探测领域有重要应用价值.