학술논문 – 부산대학교 도서관

학술논문

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Capacitive Interfaces for MEMS.

Document Type

Article

Author

Baltes, H.; Brand, O.; Fedder, G. K.; Hierold, C.; Korvink, J. G.; Tabata, O.

Source

Enabling Technologies for MEMS & Nanodevices; 2004, p49-92, 44p

Subject

Language

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