소장자료
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| 999 | ▼b 김은주▲ |
RF 마그네트론 스퍼터링 방법을 이용한 Y2O3/Al2O3 박막 제작 및 경계면에서의 열저항에 관한 연구= Fabrication and interfacial thermal resistance of Y2O3/Al2O3 thin films deposited by RF magnetron sputtering
자료유형
학위논문
서명/책임사항
RF 마그네트론 스퍼터링 방법을 이용한 Y2O3/Al2O3 박막 제작 및 경계면에서의 열저항에 관한 연구 = Fabrication and interfacial thermal resistance of Y2O3/Al2O3 thin films deposited by RF magnetron sputtering / 박건형
개인저자
발행사항
부산 : 부산대학교 , 2006.
형태사항
iv, 77장 : 삽도 ; 26cm.
일반주기
부록 : 1. 열전도도 측정을 위한 laview 프로그램 - 2. 열전도도 계산을 위한 fortran 프로그램
학위논문주기
학위논문(석사)-- 부산대학교 대학원 : 물리학과 , 2006년 8월
서지주기
참고문헌 : 장51-52
요약주기
초록 : 장76-77
시스템사항
Requires PDF file reader(application/pdf)
키워드
청구기호
537.6 박13ㅇ
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