Catalog
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직접패턴형 강유전박막 형성을 위한 e-beam 리소그래피용 전구체 개발= Development of e-beam lithographic precursors for direct-patternable ferroelectric thin films
Document Type
Domestic Book
Title
직접패턴형 강유전박막 형성을 위한 e-beam 리소그래피용 전구체 개발 = Development of e-beam lithographic precursors for direct-patternable ferroelectric thin films / 과학기술부 [편].
Other title
최종연구보고서
개인저자
Publication
[과천] : 과학기술부 , 2005.
Physical Description
x, 26장 : 삽도 ; 30 cm.
General Note
연구기관: 연세대학교 산학협력단
연구책임자 : 박형호
연구책임자 : 박형호
Bibliography Note
참고문헌: 26장
Summary Note
요약문, Summary 수록
Call Number
621.38152 한17ㅈO
Items
RReservation
AAbsent
VPreservation
CLoan Campus
QRush Cataloging
DDelivery Service
SSMS
PPrint
HHolding Journal DDS
| Regist No. | Call number | Item location | Status | Expected return date | Service |
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